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高性能压力传感器设计及制备技术调研报告

时间:2015-12-22  来源:高端装备发展研究中心    执行周期:5周   项目预算:4万

  硅基压力传感器的研究已有近5O年的历史,基本与集成电路的发展同步,出现了多种不同工作原理的微机械压力传感器。微机械压力传感器可用于汽车工业、生物医学、航空航天及工业控制等各大领域。微机械压力传感器在军用与民用航空应用广泛,包括飞行数据系统、环境与舱压、机身中的液压系统、引擎与辅助电源设备,以及其它各种应用,比如舱门、氧气罩、飞行试验与结构监控等。总体来看,航空器、喷气飞机、螺旋桨飞机和直升机中使用的压力传感器数量非常庞大。例如,大型喷气飞机需要多达130个传感器。

 

  军用与航空应用通常处于极端环境,压力传感器必须能承受恶劣环境下的剧烈震动、高G过载影响与加速度、极端温度与高压。另外,传感器还必须在这种困难环境下表现出完美的性能,具有高精度、低漂移和长期稳定性(需要在长达25年的时间里在规定温度范围内保持稳定),并且必须在非常小的封装内满足这些苛刻要求,重量要轻。因此微机械压力传感器正在向具有高温和高精密属性的方向发展。

 

  高性能压力传感器需重点提升关键技术包括温度特性优化、输出的稳定性、传感器环境适应能力、输出一致性、核心部件高性能封装技术;传感器封装结构设计及过载保护技术;传感器温度特性补偿测试技术等。

  

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  图表:霍尼韦尔压力传感器

 

主题

高性能压力传感器设计及制备技术调研报告

关键词

压力传感器 温度特性 环境适应能力 封装技术 过载保护

研究对象

高性能压力传感器设计及制备技术

呈现方式

调研报告

研究目的

通过对压力传感器的温度特性优化、输出的稳定性、传感器环境适应能力、输出一致性、核心部件高性能封装技术;传感器封装结构设计及过载保护技术;传感器温度特性补偿测试技术等关键技术调研,分析高性能压力传感器的设计技术及制造工艺的发展状况及趋势,为国内相关单位提供技术支持。

报告内容

1、高性能压力传感器应用状况分析

2、高性能压力传感器设计及制备技术发展状况

3、高性能压力传感器设计及制备技术发展外部环境分析

4、高性能压力传感器设计及制备技术重点单位调研分析

5、高性能压力传感器设计及制备技术发展趋势分析

6、高性能压力传感器市场需求前景预测分析

7、研究结论

 

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